中國(guó)航天科技集團(tuán)消息，1月12日，由中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司一院航天材料及工藝研究所制造的我國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體級(jí)大尺寸真空腔體順利通過(guò)驗(yàn)收。真空腔體是半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜設(shè)備的核心結(jié)構(gòu)件，所有的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程均在腔體內(nèi)完成，對(duì)腔體的密封性、尺寸精度等具有較高的要求。該產(chǎn)品的用戶單位是面向全球高端CVD設(shè)備的制造商，其開(kāi)發(fā)的AP-MOCVD常壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，可解決當(dāng)前國(guó)內(nèi)大功率激光器核心芯片氮化鎵鍍膜問(wèn)題。（證券時(shí)報(bào)）