近日，睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵”）宣布已獲得超過1.2億元人民幣融資，出資人包括浦東科創(chuàng)集團、上海同祺、海風(fēng)投資等機構(gòu)投資人。所融資金將用于迭代產(chǎn)品的研發(fā)投入和補充流動資金需要。

　　自2005年公司成立以來，睿勵一直致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設(shè)備。經(jīng)過多年的發(fā)展，睿勵目前已經(jīng)成長為國內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的集成電路工藝檢測設(shè)備供應(yīng)商，已申請國內(nèi)外專利130余項，其中已授權(quán)發(fā)明專利63項，獲得軟件著作權(quán)登記30余項。

　　公司自主研發(fā)設(shè)計的用于集成電路前道生產(chǎn)工藝的光學(xué)薄膜測量設(shè)備已經(jīng)被國內(nèi)外多家知名300mm芯片生產(chǎn)企業(yè)采購并上線使用，是唯一在某全球領(lǐng)先的三維閃存生產(chǎn)線上使用的中國設(shè)備。該國際客戶繼在2015年首批采購數(shù)臺睿勵的光學(xué)薄膜測量設(shè)備后，于2018年追加采購了2臺睿勵的設(shè)備。?