4月21日消息，高端半導體設(shè)備企業(yè)——江蘇魯汶儀器完成過億元B輪融資，本輪融資由中科創(chuàng)星領(lǐng)投，中冀資本、中域資本、祥暉資本、紅星美凱龍、中杰投資等多家投資機構(gòu)跟投，老股東漢唐周本輪繼續(xù)追投數(shù)千萬元。本次融資資金主要用于團隊建設(shè)、設(shè)備快速研發(fā)和迭代，市場拓展備貨等方面。

　　魯汶儀器成立于2015年，創(chuàng)始團隊主要由來自國內(nèi)外著名半導體設(shè)備研究或生產(chǎn)機構(gòu)的資深半導體工藝和設(shè)備專家組成，在半導體刻蝕設(shè)備及工藝開發(fā)方面具有深厚的技術(shù)積累，尤其對磁性材料刻蝕技術(shù)有獨到的理解。魯汶儀器創(chuàng)造性的提出了ICP+IBE+PECVD多腔體刻蝕技術(shù)方案，配合魯汶儀器專利技術(shù)的腔體在線清洗技術(shù)，目前已獲得多家國內(nèi)外頂級研發(fā)機構(gòu)、生產(chǎn)企業(yè)的高度評價，有望解決困擾業(yè)界的磁性薄膜材料刻蝕難題，為MRAM存儲器的大規(guī)模量產(chǎn)提供可靠、經(jīng)濟的刻蝕解決方案。