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清華大學(xué)新成果助力光刻機(jī)研發(fā)

有望為光子科學(xué)研究提供廣闊的新機(jī)遇,助力解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的“卡脖子”難題。

2月25日消息,清華大學(xué)工程物理系教授唐傳祥研究組與來(lái)自亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心(HZB)以及德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)的合作團(tuán)隊(duì)2月25日在《自然》雜志上發(fā)表了題為《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實(shí)驗(yàn)演示》的研究論文,報(bào)告了一種新型粒子加速器光源“穩(wěn)態(tài)微聚束”(英文縮寫(xiě)SSMB)的首個(gè)原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)?;赟SMB原理,能獲得高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射,波長(zhǎng)可覆蓋從太赫茲到極紫外(EUV)波段,有望為光子科學(xué)研究提供廣闊的新機(jī)遇,助力解決自主研發(fā)光刻機(jī)中最核心的“卡脖子”難題。

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